진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기

TOB-1100X-SPC-16M 마그네트론 스퍼터링 코터는 진공 환경에서 타겟 물질에 입자 충격을 가해 생성되는 스퍼터링 효과를 활용하여 타겟 물질의 원자 또는 분자가 고체 표면에서 튀어나오도록 하고, 박막을 형성하는 과정을 말합니다. 기판에 증착됩니다.

브랜드:
TOB NEW ENERGY
제품 번호.:
TOB-1100X-SPC-16M
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1
지불:
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제품 원산지:
China
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제품 상세 정보

진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기

명세서

TOB-1100X-SPC-16M 마그네트론 스퍼터링 코터는 진공 환경에서 타겟 물질에 입자 충격을 가해 생성되는 스퍼터링 효과를 활용하여 타겟 물질의 원자 또는 분자가 고체 표면에서 튀어나오도록 하고, 박막을 형성하는 과정을 말합니다. 기판에 증착됩니다. 박막 기술의 물리적 기상 증착(PVD) 준비에 속합니다. TOB-1100X-SPC-16M 마그네트론 스퍼터 코터는 실험실에서 주사 전자 현미경 샘플을 준비하는 데 사용할 수 있으며 장비의 컴팩트한 크기로 실험실 공간을 절약합니다. 작업이 간단하고 초보자가 사용하기에 적합합니다.

특징

진공 측정기와 스퍼터링 전류 측정기가 장착되어 있어 작업 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.
스퍼터링 전류 컨트롤러와 마이크로 진공 가스 밸브를 조정하여 진공 챔버 압력, 이온화 전류를 제어하고 필요한 이온화 가스를 선택하여 최상의 코팅 효과를 얻습니다.
벨 하우징 가장자리에 있는 고무 밀봉 링은 장기간 사용 시 유리 벨 하우징이 부서지지 않도록 특별히 설계되었습니다.
세라믹으로 밀봉된 고전압 전극 피팅은 일반적으로 사용되는 고무 밀봉보다 내구성이 더 좋습니다.
전기장에서 가스의 이온화 특성에 따라 대용량 스퍼터링 진공 챔버와 스퍼터링 타겟의 해당 영역을 사용하여 스퍼터링 층을보다 균일하고 순수하게 만듭니다.
스퍼터 헤드는 Peltier 냉각 기술을 활용하여 고성능 미세 입자 코팅을 얻습니다.
수냉식 스퍼터 헤드와 수냉식 캐리어 테이블을 사용할 수 있습니다.

상품명	진공 마그네트론 스퍼터링 코팅 마하이네
제품 모델	TOB-1100X-SPC-16M
설치 조건	본 장비는 고도 1000m 이하, 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh에서 사용해야 합니다. 1. 물: 장비에는 옵션인 자체 순환 냉각수 기계(순수 또는 탈이온수 충전)를 장착해야 합니다. 2. 전기: AC220V 50Hz, 접지가 양호해야 합니다. 3. 가스: 아르곤(순도 99.99% 이상)으로 채워지는 장비 챔버, 자체 아르곤 가스 실린더(감압 밸브 포함)를 제공해야 합니다. 4. 작업대: 크기 600mm×600mm×700mm, 내하중 50kg 이상. 5. 환기 장치: 필요하지 않음
주요 매개변수	1. 대상 : Ø50mm
	2. 진공챔버 : Ø160mm×120mm
	3. 진공도: 4×10-2mbar 이하
	4, 최대 전류: 50mA(옵션 100mA)
	5. 제한 시간 설정 가능: 9999초
	6. 마이크로진공밸브 : Ø3mm 호스를 연결하세요
	7. 제한 전압: 1600V DC
	8. 기계식 펌프: 2L/s
	9. 대상물질 : 크기 요구 사항: Φ50mm×(0.1-0.5)mm(두께) Au, Ag, Cu 및 기타 금속의 스퍼터링에 적합(당사에서 사용 가능)
	10. 크기: 360mm×300mm×380mm 전체 중량: 50Kg, 순중량: 15Kg