유동층 CVD 퍼니스

유동층 CVD 전기로 - TOB-1200-LTS-FB

제품 개요 및 이상적인 용도

TOB-1200-LTS-FB는 분말 표면 증착 실험용으로 제작된 유동층 CVD 전기로입니다. 고순도 석영관의 하단에 다공성 석영판이 장착되어 있으며, 그 판 위에 분말이 놓이고 튜브 하부로 가스가 주입됩니다. 판을 통과하는 상향 흐름이 입자를 들어 올려 증착이 진행되는 동안 가열 구역 내부에서 떠 있게 만듭니다.

이 전기로는 1시간 이내에 1200 °C에 도달하며 1150 °C를 지속적으로 유지할 수 있고, 200mm의 가열 구역과 100mm의 균일 온도 구역을 갖추고 있습니다. 튜브는 600mm 길이로 Φ25mm 또는 Φ50mm 중에서 선택할 수 있으며, 다공성 판은 분말에 필요한 기공 크기에 맞춰 제작됩니다. 공랭식 이중층 쉘, 튜브 교체를 위한 분할형 로체, 석영관 보호대, 기계식 압력 해제 밸브가 모두 기본 사양입니다.

이상적인 용도:

• 베드에 쌓여 있지 않고 개별적으로 현탁되어야 하는 분말에 대한 CVD 증착
• 가스가 튜브 전체 단면을 균일하게 통과해야 하는 코팅 실험
• 600mm 길이의 Φ25mm 또는 Φ50mm 튜브에 적합한 분말 장입량
• ±1 °C 제어 기능과 15개 프로그램 레시피 라이브러리를 갖추고 1최고 온도 1200 °C가 필요한 공정
• 적합하지 않은 용도:부식성 또는 산성 공정 가스(이로 인한 손상은 보증에서 제외됨), 또는 사용 가능한 가스 속도로 유동화할 수 없는 입자 크기를 가진 분말

분말 유형, 입자 크기 및 목표 코팅을 알려주시면, 공정에 적합한 튜브 직경과 다공성 판 사양을 확인해 드리겠습니다.

분말 코팅 연구에서 유동층 CVD가 적합한 이유

충전층에서는 입자들이 서로 접촉하고 가스가 저항이 가장 적은 경로를 찾아 이동하므로 코팅 두께가 입자마다 달라집니다. 유동층은 상향 가스 스트림으로 입자를 들어 올려 이 문제를 해결하므로, 각 입자는 전체 표면이 전구체에 노출됩니다. 이 전기로 내부의 공정 순서는 다음과 같습니다:

1. 석영관 내부의 다공성 석영판 위에 분말을 장입하고, 스테인리스 스틸 플랜지 어셈블리로 튜브를 밀폐합니다.
2. 공정 가스가 튜브 하단으로 유입되어 다공성 판을 통과하며 튜브 전체 단면에 걸쳐 흐름을 분산시킵니다.
3. 부유 속도 이상에서 입자들은 판을 떠나 200mm 가열 구역 내부에 현탁층을 형성하며, 이곳에서 전구체가 입자 표면에 분해됩니다.
4. 냉각 후 상단 플랜지를 열어 코팅된 분말을 회수합니다. 튜브 보호대와 기계식 압력 해제 밸브는 전체 공정 동안 제자리에 유지됩니다.

판의 기공 크기는 압력 강하와 가스 분포의 균일성을 모두 결정하므로 결과에 가장 큰 영향을 미치는 단일 사양입니다. 4~550 μm 범위의 기공 크기를 사용할 수 있으며, 판은 주문 제작됩니다.

TOB-1200-LTS-FB의 주요 엔지니어링 특성

• 분말 증착 전용 설계:입자가 단순 배치되는 것이 아니라 가열 구역에 현탁되도록 다공성 석영판과 하단 가스 유입구가 존재합니다.
• 공랭식 이중층 쉘:동일한 챔버 온도의 단일벽 전기로보다 외피가 더 시원하게 유지됩니다.
• 분할 및 개폐식 로체:로체를 열 수 있어 전기로를 해체하지 않고도 석영관을 교체할 수 있습니다.
• 석영관 보호대:진공 또는 열충격으로 인해 석영이 파손될 경우 부상을 방지하기 위해 튜브 주위에 쉴드가 설치되어 있습니다.
• 기계식 안전 압력 해제 밸브:다공성 석영 필터 판이 막힐 경우 과압으로부터 보호합니다.
• 고온 코팅이 적용된 알루미나 챔버:더 높은 가열 효율과 더 긴 챔버 수명을 위해 미국산 고온 알루미나 코팅이 챔버 표면에 적용된 고순도 알루미나 섬유 단열재를 사용합니다.
• HRE 합금 발열체:1시간 이내에 1200 °C 도달, 1150 °C 연속 사용 가능, K형 열전대 기준 ±1 °C 정확도.
• 스테인리스 스틸 실링 어셈블리:기본 사양인 이중 실리콘 오링 플랜지 어셈블리, 5 × 10⁻¹ Pa(기계식) 또는 5 × 10⁻³ Pa(터보)까지 지원하는 옵션 펌프 세트.

상세 사양

1. 로체 및 열적 사양

2. 석영관 및 다공성 플레이트

3. 진공 및 밀봉 시스템

4. 치수, 중량 및 보증

5. 소모품 및 보증 제외 사항

제어 시스템

제어기는 7인치 트루 컬러 터치스크린이 탑재된 임베디드 운영 체제로 실행됩니다. 반복 가능한 분말 CVD 작업에는 네 가지 기능이 중요합니다:

아래의 스크린샷은 위 행의 순서를 따릅니다: 저장된 곡선 라이브러리, 곡선 편집기, 전환 가능한 인터페이스, 비선형 보정, 예약 시작, 그리고 두 가지 보호 경보.

제어기는 15개의 온도 곡선을 저장하므로, 매번 실행할 때마다 레시피를 다시 입력할 필요가 없습니다.

온도 곡선 설정 화면.

임베디드 운영 체제는 7인치 트루 컬러 터치스크린에서 중국어와 영어를 전환합니다.

표시된 온도를 측정된 시료 온도와 일치시키는 데 사용되는 비선형 시료 온도 보정.

설정된 시간에 시작해야 하는 실행을 위한 선택 사양 기능인 예약 시작.

구역 1 과온 경보.

열전대 단선 표시가 있는 구역 1 과온.

실용적인 운전 권장 사항

• 다공성 판은 파우더를 주문한 후에가 아니라 파우더와 함께 주문하십시오:기공 크기는 플레이트 전후의 압력 강하와 가스가 균일하게 분배되는 정도를 모두 결정하므로, 사용 가능한 유량에서 베드가 유동화될지 여부를 결정합니다.
• 연속 정격 이하로 유지 시간을 계획하십시오:1200 °C는 도달 가능한 최고 온도이며, 1150 °C는 연속 사용 온도입니다. 장시간의 유지 시간은 1150 °C 이하에서 이루어져야 합니다.
• 승온 속도를 20 °C/min 이하로 유지하십시오:이는 전기로가 규정하는 최대 가열 속도이며, 석영 튜브에 가해지는 열충격을 제한합니다.
• 튜브 가드나 안전 밸브를 절대 제거하지 마십시오:가드는 튜브 파손 시 석영을 포집하며, 기계식 안전 밸브는 다공성 플레이트가 막히고 압력이 상승할 때 열립니다.
• 작동 전에 가스 호환성을 확인하십시오:부식성 및 산성 가스로 인한 손상은 보증에서 제외되므로, 첫 번째 열 사이클 전에 공정 가스가 적합한지 확인하십시오.
• 소모품을 비축하십시오:발열체, 열전대 및 샘플 도가니는 소모품이며 포함되어 있지 않으므로, 고장난 후에 주문하기보다는 전기로와 함께 예비품을 주문하십시오.
• 저장된 15개의 곡선을 레시피 라이브러리로 사용하십시오:공정당 하나의 곡선을 사용하면 작업자 간에 동일한 코팅 공정을 재현할 수 있습니다.

엔지니어링 FAQ

Q1. Φ25mm와 Φ50mm 중 어떤 튜브를 선택해야 합니까?

A. 두 모델 모두 600mm 길이로 제공됩니다. 더 큰 튜브는 실행당 더 많은 분말을 담을 수 있고 동일한 부피 유량에서 더 낮은 가스 속도를 제공하며, 더 작은 튜브는 더 적은 가스로 부양 속도에 도달합니다. 실험당 필요한 분말 부피와 공급할 수 있는 가스 유량을 기준으로 선택하십시오.

Q2. 다공성 석영 플레이트의 기공 크기는 얼마여야 합니까?

A. 4~550 μm 크기의 기공을 사용할 수 있으며 플레이트는 주문 제작됩니다. 기공 크기는 정지 상태에서 분말을 지탱할 수 있을 만큼 충분히 작아야 하고 작업 가능한 압력 강하에서 공정 가스가 통과할 수 있을 만큼 충분히 개방되어 있어야 하므로, 별도가 아닌 분말과 함께 지정됩니다.

Q3. 최고 온도는 얼마나 되며 가열 속도는 얼마나 빠릅니까?

A. 1200 °C에는 1시간 이내에 도달할 수 있습니다. 연속 온도는 1150 °C이고, 온도 정확도는 K 타입 열전대 기준 ±1 °C이며, 최대 승온 속도는 ≤20 °C/min입니다.

Q4. 도달 가능한 진공도는 어느 정도입니까?

A. 옵션인 기계식 펌프 세트를 사용하면 시스템이 5 × 10⁻¹ Pa에 도달하고, 옵션인 터보 펌프 세트를 사용하면 5 × 10⁻³ Pa에 도달합니다. 표준 공급 사양은 이중 실리콘 O-링이 있는 스테인리스 스틸 실링 플랜지 어셈블리입니다.

Q5. 다공성 플레이트가 막히면 어떻게 됩니까?

A. 표준 실링 어셈블리의 일부로 기계식 안전 압력 밸브가 장착되어 있어, 막힌 석영 필터 플레이트로 인해 축적된 압력이 밀폐되지 않고 외부로 방출됩니다. 석영 튜브 가드도 표준 사양으로 제공되므로 튜브 고장이 발생해도 작업자가 위험에 노출되지 않습니다.

Q6. 산성 또는 부식성 공정 가스를 사용할 수 있습니까?

A. 부식성 가스 및 산성 가스로 인해 발생한 손상은 보증 대상이 아니므로, 산성 또는 부식성 공정 가스를 전기로에 사용하기 전에 당사와 협의해야 합니다.

Q7. 보증 범위는 무엇이며 어떤 항목이 포함되지 않습니까?

A. 평생 기술 지원이 포함된 1년 보증. 발열체, 열전대, 샘플 도가니 및 유사한 품목과 같은 소모품 부품은 포함되지 않으며, 부식성 또는 산성 가스로 인한 손상은 제외됩니다.

Q8. 설치 면적과 중량은 어떻게 됩니까?

A. 510mm × 430mm × 1000mm이며 순중량은 약 35KG입니다. 전기로가 수직으로 설치되므로 튜브 축이 수직이고 가스가 아래쪽으로 유입됩니다.

사용하시는 분말, 입자 크기, 목표로 하는 코팅을 알려주세요. 작업에 적합한 튜브 직경, 다공성 플레이트 기공 크기 및 펌프 세트를 제안해 드리겠습니다.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

검토자: Pinery Gong, 배터리 조립 및 수율 공정 ｜ 최종 업데이트: 2026-10-19

추천 제품

• 재료 연구 개발용 1700°C 튜브 furnace - 이 전기로가 도달하는 1200 °C보다 더 높은 온도가 필요한 공정을 위해 훨씬 더 높은 온도 한계를 가진 동일한 튜브 전기로 형식입니다.

• 배터리 소재용 1200℃ 3존 튜브 furnace - 공정이 여기의 단일 200mm 존보다 더 길거나 더 넓은 균일 가열 존을 필요로 할 때, 독립적으로 제어되는 3개의 존을 갖춘 동일한 1200 °C 등급 모델입니다.

• 1200℃ 고온 분위기로- 수직 튜브와 유동층이 필요 없는 분위기 작업용 상자형 로