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TOB NEW ENERGY제품 번호.:
TOB-DSP-1200℃-PECVDS주문 (moq):
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XIAMEN리드 타임:
7days1200 ℃ 회전식 진공관로
명세서
모델 |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvds 회전식 진공관로 |
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힘 |
3.5kw |
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퍼니스 튜브 크기 (mm) |
직경 60 (od) x1200mm |
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치수 |
1300x420x1200 |
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전원 전압 |
220v |
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상 번호 |
단상 |
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온도 제어 모드 |
유 디안 온도 제어 30 개의 섹션은 pid 온도 조절 만 사용할 수 있습니다. fp93 온도 제어 (일본 발) (수입 된 장비를 추가 비용으로 교체) 1,40 섹션 프로그램 온도 제어는 4,2,1 그룹 프로그램으로 나눌 수 있습니다. 프로그램이 4 개의 그룹, 각 프로그램 세그먼트 (10)로 분할되면, 2,6 그룹 pid 제어, 낮음, 중간 및 고온은 각각 pid 세트로 가능합니다. 각 세그먼트가 온도를 제어 할 수 있도록 매우 정확합니다. |
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방아쇠 |
위상 변이 트리거 |
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scr |
106 / 16e 독일 Simon Kang |
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최고 온도 |
1200 ℃ |
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정격 온도 |
1100 ℃ |
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가열 속도 |
≤30 ℃ / 분 (요청 수정시 이용 가능) |
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제어 정확도 |
+/- 1 ℃ |
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권장 가열 속도 |
≤15 ℃ / 분 |
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가열 길이 |
400mm |
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열전대 유형 |
k 타입 |
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인증 |
ce |
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주변 표면 온도 |
≤45 ℃ |
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모터 파워를 돌리다 |
40 주 |
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전기 퍼터 전력 |
40 주 |
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퍼니스는 기울어 진 각일 수 있습니다 |
-10 ~ 30도 |
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튜브 회전 속도 |
연속 가변 모터 속도는 1-25 rev / min으로 조정 가능 |
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플라즈마 rf 전력 |
전력 출력 범위 |
0-500w |
최대 반사 전력 |
10 주 |
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신호 주파수 |
13.56mhz ± 0.005 % |
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소음 |
& lt; 30db |
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공기 냉각 |
냉각 방식 |
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입력 파워 |
208-240V 50 / 60Hz |
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gx 공급 시스템 주요 매개 변수 |
표준 범위 |
양성자 유량 제어기 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (당신은 어떤 규모를 선택할 수 있습니다) |
정확성 |
± 1.5 % |
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압력 강하 |
& lt; 0.01mpa |
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반복성 |
± 0.2 % f.s |
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최대 작동 압력 |
3mp |
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vs-0.1 배기 시스템 |
전력 공급 |
220v / 380v 380w |
양수 비율 |
2l / s |
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저항 진공 게이지 |
zdr-i |
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진공 측정 범위 |
0.1-10 5 개 pa |
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진공 펌프 |
vrd-8 |
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골판지 파이프 |
kf25x1000mm |
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진공 시스템 |
10-1 파 |
스카이프 : amywangbest86
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