1200 ℃ 회전식 진공관로

모델

tob-dsp-1200 ℃ -pecvds

회전식 진공관로

힘

3.5kw

퍼니스 튜브 크기 (mm)

직경 60 (od) x1200mm

치수

1300x420x1200

전원 전압

220v

상 번호

단상

온도 제어 모드

유 디안 온도 제어

30 개의 섹션은 pid 온도 조절 만 사용할 수 있습니다.

fp93 온도 제어 (일본 발)

(수입 된 장비를 추가 비용으로 교체)

1,40 섹션 프로그램 온도 제어는 4,2,1 그룹 프로그램으로 나눌 수 있습니다.

프로그램이 4 개의 그룹, 각 프로그램 세그먼트 (10)로 분할되면,

2,6 그룹 pid 제어, 낮음, 중간 및 고온은 각각 pid 세트로 가능합니다.

각 세그먼트가 온도를 제어 할 수 있도록 매우 정확합니다.

방아쇠

위상 변이 트리거

scr

106 / 16e 독일 Simon Kang

최고 온도

1200 ℃

정격 온도

1100 ℃

가열 속도

≤30 ℃ / 분 (요청 수정시 이용 가능)

제어 정확도

+/- 1 ℃

권장 가열 속도

≤15 ℃ / 분

가열 길이

400mm

열전대 유형

k 타입

인증

ce

주변 표면 온도

≤45 ℃

모터 파워를 돌리다

40 주

전기 퍼터 전력

40 주

퍼니스는 기울어 진 각일 수 있습니다

-10 ~ 30도

튜브 회전 속도

연속 가변 모터 속도는 1-25 rev / min으로 조정 가능

플라즈마 rf 전력

전력 출력 범위

0-500w

최대 반사 전력

10 주

신호 주파수

13.56mhz ± 0.005 %

소음

& lt; 30db

공기 냉각

냉각 방식

입력 파워

208-240V 50 / 60Hz

gx 공급 시스템

주요 매개 변수

표준 범위

양성자 유량 제어기 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm,

1,2,3,5,10slm

(당신은 어떤 규모를 선택할 수 있습니다)

정확성

± 1.5 %

압력 강하

& lt; 0.01mpa

반복성

± 0.2 % f.s

최대

작동 압력

3mp

vs-0.1 배기 시스템

전력 공급

220v / 380v 380w

양수 비율

2l / s

저항 진공 게이지

zdr-i

진공 측정 범위

0.1-10 5 개 pa

진공 펌프

vrd-8

골판지 파이프

kf25x1000mm

진공 시스템

10-1 파