1200 ℃ 슬라이더 식 듀얼 존 PEVCD 시스템

모델

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

힘

3kw

3kw

4kw

4kw

퍼니스 튜브 크기 (mm)

직경 60 (od) x1800mm

직경 80 (od) x1800mm

직경 100 (od) x1800mm

직경 120 (od) x1800mm

치수

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

전원 전압

220v

상 번호

단상

제어 모드

유 디안 온도 제어

30 개의 섹션은 pid 온도 조절 만 사용할 수 있습니다.

fp93 온도 제어 (일본 발)

(수입 된 장비를 추가 비용으로 교체)

1,40 섹션 프로그램 온도 제어는 4,2,1 그룹 프로그램으로 나눌 수 있습니다. 프로그램이 4 개의 그룹으로 나뉘면 각 프로그램 세그먼트 10,

2,6 그룹 pid 제어, 저온, 중온 및 고온은 각각 pid 세트를 사용하여 각 세그먼트가 온도를 제어 할 수 있도록 매우 정확합니다.

온도 제어 모드

지능형 pid

번 아웃 방지 및 디스플레이

예

과열 보호

예

과전류 보호

예

제어 정확도

+/- 1 ℃

방아쇠

위상 변이 트리거

scr

106 / 16e 독일 Simon Kang

1.2 온도 영역 최대 온도

1200 ℃

1.2 온도 구역

정격 온도

1150 ℃

가열 속도

≤30 ℃ / 분 (요청 수정시 이용 가능)

권장 가열 속도

≤15 ℃ / 분

열전대 유형

k 타입

1.2 온도 영역 가열 길이

205mm

주변 표면 온도

≤45 ℃

플라즈마 rf 전력

전력 출력 범위

0-500w

최대 반사 전력

10 주

신호 주파수

13.56mhz ± 0.005 %

소음

& lt; 30db

공기 냉각

냉각 방식

입력 파워

208-240V 50 / 60Hz

gx 공급 시스템 주요 매개 변수

표준 범위

양성자 유량 제어기 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(당신은 어떤 규모를 선택할 수 있습니다)

정확성

± 1.5 %

압력 강하

& lt; 0.01mpa

반복성

± 0.2 % f.s

최대

작동 압력

3mp

vs-0.1 배기 시스템

전력 공급

220v / 380v 380w

양수 비율

2l / s

저항 진공 게이지

zdr-i

진공 측정 범위

0.1-10 5 pa

진공 펌프

vrd-8

골판지 파이프

kf25x1000mm

진공 시스템

10-1 파