저자: XIA Qiuying, SUN Shuo, ZAN Feng, XU Jing, XIA Hui 중국 난징 210094 난징이공대학교 재료공학부 추상적인 전고체 박막 리튬 배터리(TFLB)는 마이크로 전자 장치에 이상적인 전원으로 간주됩니다. 그러나 비정질 고체 전해질의 상대적으로 낮은 이온 전도도는 TFLB의 전기화학적 성능 향상을 제한합니다. 본 연구에서는 TFLB용 고체 전해질로서 마그네트론 스퍼터링을 통해 비정질 리튬실리콘산질화물(LiSiON) 박막을 제조하였다. 최적화된 증착 조건을 갖춘 LiSiON 박막은 상온에서 6.3×10-6 S∙cm-1의 높은 이온 전도성과 5V 이상의 넓은 전압 창을 나타내어 TFLB용 박막 전해질로 적합합니다. MoO3/LiSiON/Li TFLB는 큰 비용량(50mA∙g...